Infra-estrutura

Microscópio com resolução de 4 nm (com feixe a 20 kV), magnificação de 8X a 300.000X e voltagem de aceleração de 500 V a 20 kV. Canhão de elétrons com filamento de tungstênio pré-centrado. Detector Everhart-Thornley para imagens de elétrons secundários e detector de estado sólido para elétrons retro-espalhados com contraste de topografia, composição e de sombreamento variável. Detector do tipo Silicon Drift para análises de EDS com resolução de 133 eV. Janela fina para detecção de elementos entre boro e urânio. Sistema de vácuo composto por uma bomba mecânica e uma bomba turbo molecular, e pressão de operação entre 10-4 e 100 Pa.